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電源類(lèi)產(chǎn)品

直流疊加脈沖偏壓電源

時(shí)間：2020-05-09 11:34:55 來(lái)源：金創(chuàng )立科技 瀏覽次數：
主要特點(diǎn)
JCL-ZDPY可方便地在帶載情況下通過(guò)直流電壓和脈沖電壓實(shí)現直流、單極脈沖和直流疊加脈沖三種偏壓模式。配合脈沖頻率和占空比調節，可控制成膜溫度增加膜基結合力，提高沉積和高品質(zhì)鍍膜系統。
1、DSP數字化控制/精度高/重復性好，配有控制面板和控制程序。
2、具有過(guò)流、過(guò)熱、過(guò)壓、短路保護。
3、控制方式:恒壓、恒流、恒功率。
4、風(fēng)冷
5、根據用戶(hù)要求預留光纖通訊接口（遠控功能）

主要參數
負脈沖工作電壓可分為A、B兩檔，每一檔內的電壓連續可調，脈沖上升、下降快，脈沖幅值穩定:
A：100~1000V
B：50~500V
直流電壓：20V~200V連續可調、自動(dòng)穩壓、穩壓精度1%
脈沖頻率：20KHz~40KHz(連續可調或定額)
脈沖占空比：10%~80%（連續可調）

型號 功率 工作電壓電流（脈沖） 脈沖頻率 占空比 冷卻方式 工作電壓電流（直流）
ZDPY-5 5kW 100~1000V/4A 20~40kHz連續可調   或定頻40kHz 10%~80%  連續可調 風(fēng)冷 20~200V/5A
50~500V/8A
25~250A/16A
ZDPY-10 10kW 100~1000V/8A 20~40kHz連續可調   或定頻40kHz 10%~80%  連續可調 風(fēng)冷 20~200V/10A
50~500V/16A
25~250A/32A
ZDPY-20 20kW 100~1000V/16A 20~40kHz連續可調   或定頻40kHz 10%~80%  連續可調 水冷 20~200V/20A
50~500V/32A
25~250A/64A
ZDPY-30 30kW 100~1000V/24A 20~40kHz連續可調   或定頻40kHz 10%~80%  連續可調 水冷 20~200V/30A
50~500V/48A
25~250A/96A
ZDPY-50 50kW 100~1000V/40A 20~40kHz連續可調   或定頻40kHz 10%~80%  連續可調 水冷 20~200V/50A
50~500V/80A
25~250A/160A
ZDPY-70 70kW 100~1000V/56A 20~40kHz連續可調   或定頻40kHz 10%~80%  連續可調 水冷 20~200V/70A
50~500V/112A
25~250A/224A
ZDPY-100 100kW 100~1000V/80A 20~40kHz連續可調   或定頻40kHz 10%~80%  連續可調 水冷 20~200V/100A
50~500V/160A
25~250A/320A