主要特點(diǎn)：
可單靶或雙靶工作，雙靶工作時(shí)，兩個(gè)靶的材料和尺寸都可以不同，每個(gè)靶的濺射電流可分別設定；單靶工作時(shí)也可以減少電荷累積引起的異常放電。適合于鍍制碳化物、氧化物、氮化物等膜層，雙靶運用可方便控制成分比。
1、DSP數字化控制/精度高/重復性好，配有控制面板和控制程序。
2、具有過(guò)流、過(guò)熱、過(guò)壓、短路保護。
3、控制方式：恒壓、恒流、恒功率
4、冷卻方式：風(fēng)冷；風(fēng)冷+水冷
5、根據用戶(hù)要求預留PLC遠控接口（遠控功能）
主要參數：
空載電壓≥800V，工作電壓：200-750V
正負極性平均電流獨立穩流，穩流精度1%
脈沖頻率：5KHZ-40KHZ，連續可調或定頻40KHZ
脈沖占空比：10%-80%，連續可調
電話(huà)： 028-83988111 13658068539 
傳真：13658068539 
地址：成都新都區班竹園鎮鴉雀口四組 
